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激光切割機的尺寸精度是由切割機數控機床性能、光束質量、加工現象決定的整體精度，包括定位精度及重復精度等靜態精度和表示隨切割速度變化的加工形狀軌跡精度，即動態精度。光束質量對加工精度的影響來自于光束的圓度、強度的不均勻性以及光軸的紊亂。加工現象決定的精度與氧化反應熱混亂產生的異常燃燒、熱膨脹、切割面粗糙、材質等被加工件的物性有關。在一般材料的激光切割機過程中，由于切割速度較快，工件的熱變形很小，通過對設備的精確調試和必要的程序補償，光束質量和加工現象對加工尺寸精度影響可以降低到較小的程度，此時切割工件的尺寸的精度主要取決于切割機數控工作臺的機械精度和控制精度。